1.亂流式(TurbulentFlow)：空氣由空調(diào)機(jī)箱經(jīng)風(fēng)管和潔凈室內(nèi)的空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室內(nèi)的回風(fēng)柱或高架地板回風(fēng)。氣流是呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。此型式適合于潔凈室等級(jí)為：1,000-100,000級(jí)。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本比較低，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所需提高潔凈等級(jí)，可結(jié)合潔凈工作臺(tái)來(lái)提高潔凈室等級(jí)。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求的潔凈度，往往須相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

2.層流式(Laminar)：空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻的直線形，空氣由覆蓋率**的高效過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)回風(fēng)柱回風(fēng)，此型式適合于**比較高的潔凈室，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

(2)垂直層流式：房間口板**以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，口板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。

3.復(fù)合式(MixedType)：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域**覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安