無塵車間凈化設(shè)備安裝好后小心地拆除隔離墻，經(jīng)過過濾的空氣可以接入送風(fēng)。進行這一步的時間應(yīng)該仔細(xì)地選定，盡量減少對無塵車間內(nèi)正常工作的干擾。

無塵車間設(shè)備內(nèi)部和關(guān)鍵的加工小室應(yīng)該在正常的潔凈室條件下進行清潔和投入使用的準(zhǔn)備工作。

無塵車間凈化設(shè)備安裝結(jié)束后對所有適當(dāng)?shù)臐崈羰覂?nèi)和所有與產(chǎn)品接觸或涉及產(chǎn)品傳遞的表面都要進行擦拭，達到要求的潔凈度**。設(shè)備的清潔程序應(yīng)該是從頂?shù)降?，因為如果有粒子散布，較大的粒子會因重力而落到設(shè)備的底部或地面上。

對無塵車間設(shè)備外部清潔，順序也是從頂?shù)降住?/p>

無塵車間凈化設(shè)備安裝完工如必要時，應(yīng)該檢查產(chǎn)品或工藝要求非常關(guān)鍵的區(qū)域的表面粒子情況。